نحوه انتخاب پمپ خلاء خشک در فناوری نیمه هادی با استفاده از توان مهندسین و مشاورین کارآزموده در خدمت شما هستیم
انتخاب پمپ خلاء خشک در فناوری نیمه هادی
چندین نوع پمپ خلاء خشک وجود داردطراحی و تولید شده است که تفاوت های آشکاری در طراحی سازه مکانیکی دارد. بنابراین ، پمپ های خلاء خشک را می توان به انواع زیر طبقه بندی کرد: نوع اسپلیت گرد ، نوع پنجه ، نوع ترکیبی (ریشه + پنجه) ، نوع پیچ ، که از این میان به سه مورد اول پمپ های چند مرحله ای گفته می شود. از آنجا که آنها به همان روش کار می کنند ، از حفره خلاء چند مرحله ای برای فشرده سازی مکرر گاز برای تولید خلا استفاده می کنند. در فرآیند فشرده سازی مکرر ، دما و فشار گاز نیز تغییرات پیچیده تری ایجاد می کند ، بنابراین به راحتی می توان تغییراتی در خصوصیات بدنی گاز ایجاد کرد. نوع پیچ را پمپ تک مرحله ای می نامند زیرا تنها برای تولید خلاء به یک محفظه خلاء متکی است.
با توجه به روش های مختلف فشرده سازی گاز ، می توان آن را به موارد زیر تقسیم کرد
- پمپ پیچ فشرده سازی داخلی
- پمپ پیچ فشرده سازی خارجی
نوع پمپ خلاء خشک فرآیند نیمه هادی:
لوب های BICIRCULAR
طراحی اسپلیت دوتایی بسیار شبیه به محبوب ترین و پر کاربرد پمپ ریشه است. در حقیقت ، برخی از اولین ایده های طراحی پمپ خشک ، پمپ های Roots بودند. این طراحی چند مرحله ای مسیر گاز را بسیار پیچیده می کند و هر مرحله برای بازی در نقش رقت و ایزوله نیاز به جریان زیادی ازت دارد. در عین حال ، برای دستیابی به یک خلاء مناسب ، نیازهای بسیار سختی برای شکاف در همه سطوح وجود دارد. البته این طرح باعث افزایش ضریب فشرده سازی داخلی می شود و این باعث می شود مصرف انرژی آن نسبتاً کم باشد.
ترفولیولات
اصل طراحی سه لوب همان طراحی دو لنگه است ، به جز این که گاز به صورت دایره ای به سه قسمت تقسیم می شود و نه دو قسمت مانند طرح دو لنگه. این دو طرح مزایا و مضرات یکسانی دارند. به منظور کاهش بیشتر در مصرف برق ، برخی از تولید کنندگان در بخش انتقال ، دو موتور DC را انتخاب می کنند ، اما این امر همچنین به کاهش گشتاور و کاهش ظرفیت راه اندازی مجدد منجر می شود. همانطور که با طرح اسپلیت دور دوتایی ، هر مرحله از طرح تقسیم سه برگه برگ نیاز به جریان زیادی ازت دارد تا نقش رقیق سازی و جداسازی را داشته باشد.
ترکیبی (ریشه + پنجه)
در طراحی ترکیب (ریشه + پنجه) از ریشه برای بهبود بازده استخراج تحت فشار کم استفاده می شود و از پنجه برای بهبود بازده استخراج تحت فشار زیاد استفاده می شود. اصل اساسی و مسیر گاز آن دقیقاً مشابه طراحی لوب دایره ای است که در ابتدا معرفی شده بود. برخی از تولید کنندگان مرحله نهایی خود را به یک طرح ستاره تغییر می دهند ، به طوری که می توانند در یک انقلاب گاز را به پنج قسمت تقسیم کنند ، دقیقاً مانند طرح تقسیم سه دایره می تواند آن را به سه قسمت تقسیم کند. به همین ترتیب ، در بسیاری از فرآیندها ، هر مرحله از طراحی ترکیبی به جریان زیادی ازت نیاز دارد تا نقش رقیق سازی و جداسازی را داشته باشد.
نوع پیچ فشرده سازی خارجی
در طراحی پیچ فشرده سازی خارجی از یک جفت پیچ استوانه استفاده می شود. این امر فشرده سازی داخلی را به حداقل می رساند و مسیر گاز را کوتاهترین و آسان ترین می کند. در این روش ، گاز برای کمترین زمان در بدنه پمپ می ماند. اگرچه مصرف انرژی این طرح به دلیل کاهش نسبت فشرده سازی داخلی نسبتاً زیاد است اما در بسیاری از فرآیندهای نیمه هادی پیچیده مقاومت بالایی نشان می دهد. این طرح تک مرحله ای باعث می شود تقاضای مصرف نیتروژن بسیار کوچک و ساده باشد ، به طوری که در فرایندهای مختلف قابل تعویض خوبی باشد. در بسیاری از فرآیندهای تمیز ، ازت ممکن است حتی استفاده نشود.
نوع پیچ فشرده سازی داخلی
علاوه بر استفاده از یک جفت پیچ غیر همسان ، اصول اساسی طراحی پیچ فشرده سازی داخلی و طراحی پیچ فشرده سازی خارجی بسیار مشابه است. کاهش حجم بین پیچ ها باعث فشرده سازی داخلی می شود. این طرح به دلیل فشرده سازی داخلی ، میزان مصرف برق را به همان پمپ چند مرحله ای کاهش می دهد. اما در بسیاری از فرآیندها ، این فشرده سازی داخلی ، مانند پمپ چند مرحله ای ، بسیار آسان است و باعث ایجاد تغییرات فیزیکی و شیمیایی گاز در بدنه پمپ شده و باعث ایجاد جامد یا مایع سازی می شود.
در انواع پمپ های خلاء خشک که در بالا توضیح داده شد ، ما مایل به کاهش اندازه بدنی آنها هستیم. اما ، این با پمپاژ پمپ خلاء متناقض است ، زیرا میزان پمپاژ پمپ خلاء به طور مستقیم با حجم پمپ خلاء متناسب است ، و اندازه فیزیکی کوچک به معنای حجم کم است. البته یک عامل مهم نیز وجود دارد که بر میزان پمپاژ پمپ خلاء ، یعنی سرعت چرخش تأثیر می گذارد. برای مطابقت با نرخ پمپاژ پمپ خلاء در مقیاس کوچک با پمپ خلاء در مقیاس بزرگ ، لازم است سرعت آن افزایش یابد. دو روش برای تغییر سرعت پمپ خلا وجود دارد ، یکی تغییر فرکانس منبع تغذیه ، یعنی استفاده از مبدل فرکانس. مورد دیگر تغییر نسبت انتقال گیربکس است. در میان آنها ، مزیت استفاده از مبدل فرکانس این است که می تواند یک کنترل حلقه بسته را فراهم کند ، اما از بین رفتن گشتاور در زیر بار زیاد آسان است. تغییر نسبت انتقال گیربکس روشی بسیار اقتصادی است ، البته فقط می تواند یک سرعت غیرقابل کنترل را ارائه دهد.
مشاهده می شود که پمپ خلاء خشک دارای طرح های مختلفی است که هر کدام از این ویژگی ها ، مزایا و معایب خاص خود را دارند. در کل ، هزینه استفاده یک عامل مهم است که بر انتخاب پمپ خلاء افراد تأثیر می گذارد. بیشتر و بیشتر کاربران پمپ خلاء متوجه می شوند که پایداری عملکرد پمپ خلاء نیز باید در نظر گرفته شود. به دلیل خطای غیر منتظره پمپ خلاء ، از راندمان دستگاه کاسته می شود ، زمان تولید و تحویل ویفر تحت تأثیر قرار می گیرد ، حتی قراضه ویفر فرآوری شده و آسیب دیدن سایر قسمت های دستگاه ایجاد می شود.
انتخاب پمپ خلاء خشک در فناوری نیمه هادی
از آنجا که طراحی پیچ پیچ از نوع تک مرحله ای است ، در مقایسه با پمپ چند مرحله ای مانند نوع اسپلیت گرد ، نوع پنجه و نوع ترکیبی ، تعداد قطعات مورد استفاده ۶۰ درصد کاهش می یابد. این امر باعث می شود که در آینده از ثبات و هزینه های نگهداری استفاده شود.
به طور جامع ، اگر کاربر فکر کند که مصرف برق برای او مهمترین است و مصرف نیتروژن برای او کمترین اهمیت است ، بنابراین نوع پیچ فشرده سازی داخلی می تواند انتخاب مناسبی باشد. اما به طور کلی ، نیازهای بیشتر و دقیق تر برای تصفیه گاز دم باعث کاهش مصرف نیتروژن در آینده می شود. اگر می خواهید از یک نوع پمپ منفرد برای ساده کردن کنترل موجودی خود بدون تغییر فرآیندهای نیمه هادی مختلف استفاده کنید ، نوع پیچ فشرده سازی خارجی بهترین انتخاب شماست.
